2025年10月18日，由清华大学主办，北京集成电路高精尖创新中心、启元实验室承办，中国图象图形学学会智能图象感知微系统专委会协办的2025智能微系统国际研讨会在北京怀柔举行。

本届研讨会以“智能微系统：器件突破、系统创新”为主题，邀请了10余位智能微系统、MEMS技术、传感器技术、微纳器件和微纳加工等领域的资深学者、产业专家，共同围绕智能微系统技术趋势、MEMS 器件与材料前沿突破、跨领域应用创新等议题开展交流研讨。

 活动现场

会上，中国工程院院士、华中科技大学党委副书记、校长、集成电路高精尖创新中心主任尤政，中国工程院院士、西安交通大学教授、陕西省科协主席蒋庄德，北京市怀柔区区长梁爽，启元实验室副主任刘航等领导为大会致辞，预祝大会圆满成功；同时期望借助本次会议，搭建多元协同的合作平台，推动学术创新与产业转化的有机衔接，促进智能微系统技术在更多关键领域的突破与落地。 

中国工程院院士，华中科技大学校长 集成电路高精尖创新中心主任尤政 

中国工程院院士、西安交通大学教授 陕西省科协主席蒋庄德

活动先后由清华大学邢飞教授、中北大学张文栋教授、清华大学张高飞教授、崂山国家实验室薛晨阳研究员，以及郑州航空工业管理学院校长、北京邮电大学教授邓中亮主持。

在特邀报告环节，绍兴文理学院的王跃林教授做了题为“智能微系统发展思考”的报告，阐述了该领域的发展态势，回顾了器件突破和系统创新协同发展的巨大效益，并介绍了其在器件突破方面所做的初步尝试。

绍兴文理学院教授王跃林

西安交通大学赵玉龙教授做了题为“MEMS智能弹药及其微装备”的报告，阐述了MEMS执行器及相关技术在新一代微火工品与微引信当中的应用。

西安交通大学精密微纳制造技术 全国重点实验室执行主任赵玉龙

东南大学黄庆安教授以“压电谐振传感器的奇异点（EP）增强感应”为题，介绍了一种通过薄膜体声波谐振器（FBAR）结合宇称－时间对称性与奇异点的新方法，为高灵敏压电谐振传感器的研发提供了新路径。

东南大学集成电路学院教授黄庆安

国防科技大学智能科学学院院长肖定邦教授以“面向微型无人装备的芯片级智能视觉微系统研究”为题，介绍了一种立方厘米与克级别的芯片级智能视觉微系统，为解决宏观感知系统与微型无人平台之间的集成矛盾提供了有效的技术途径。

国防科技大学智能科学学院院长、教授肖定邦

清华大学赵晓光副教授以“基于MEMS-超材料的微系统及应用”为题，介绍了团队在MEMS和超材料集成方面的研究，展示了由MEMS致动器驱动的电磁波的高级动态操控，并讨论了具有微/纳米特征尺寸的超材料局部场增强和非线性效应，以展示超材料的更多可能应用。

清华大学精密仪器系副教授赵晓光 

北京芯东来半导体技术有限公司总经理，王野先生以“光刻工艺助力MEMS器件突破”为题，主要介绍了芯东来公司在i-line、KrF等核心光刻机技术方面的解决方案，以及其在推动MEMS器件灵敏度和可靠性方面的应用潜力。

北京芯东来半导体技术有限公司总经理王野

北京自动化控制设备研究所扈光锋主任，以“智能导航技术发展视角下的器件创新需求”为题，探讨了智能导航技术演进对器件提出的创新需求，提出未来的导航系统不仅需要器件具备更高的基础性能，更需在多源异构数据融合、极端环境鲁棒性、微型化与低成本等方面实现突破。

北京自动化控制设备研究所一室主任扈光锋

中国航天国际控股有限公司智慧研究所许戎戎所长以“基于微纳增材制造的高性能射频器件与微系统”为题，介绍了基于微结构电化学增材制造工艺（MEFAB制程）的射频器件与微系统的突出优势与应用前景。

中国航天国际控股有限公司智慧研究所所长许戎戎

中国科学院苏州纳米所曾中明研究员以“苏州微纳加工平台及压电MEMS共性工艺技术”为题，围绕微纳加工技术对微纳系统制造的作用，介绍了全要素微纳加工平台、压电 MEMS 共性工艺技术，及苏州微纳加工平台的全流程服务能力。

 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员曾中明

郑州航空工业管理学院校长、北京邮电大学教授邓中亮以“导航通信深度融合发展趋势”为题，分析了高精度时空体系的发展现状与万物智联和数字经济发展面临的新挑战；同时介绍了国内外研究进展、最新研究成果，以及万物智联领域的典型应用。

郑州航空工业管理学院校长、北京邮电大学教授邓中亮

中科亿海微电子科技有限公司总裁魏育成以“基于嵌入式FPGA的智能微系统研制与应用”为题，面向具身智能、无人系统等场景对低功耗微型化系统的迫切需求，介绍中科亿海微全正向设计的eFPGA IP核与配套EDA工具，及其在工艺兼容、接口丰富、可重构等方面的突出优势。

 中科亿海微电子科技（苏州）有限公司总裁魏育成

北京赛微电子股份有限公司副总经理、首席科学家陆原以“MEMS与半导体异质异构集成”为题，讨论了MEMS器件的特点，回顾了异质异构集成技术在不同半导体器件制造级别的应用，介绍了赛微在MEMS微系统晶圆级异质异构集成领域的研发工作。

北京赛微电子股份有限公司副总经理、首席科学家陆原

启元实验室的鲁文帅研究员以“智能微系统与具身智能微飞行器”为题，重点阐述了启元实验室智能微系统技术的发展思路，并以微飞行器的自主智能化能力实现为例论述了智能微系统的核心观点与技术实现方法。

启元实验室研究员鲁文帅

最后，尤政院士为大会致闭幕词。他衷心感谢与会专家、企业家长期以来对智能微系统、智能传感器等领域科研和教学工作的关心与支持；同时提到，本次大会特邀资深学者与产业专家带来精彩报告，不仅深度解读了前沿技术动态，也为产学研协同合作、行业发展方向提供了宝贵的学术指导。后续，希望业界同仁继续努力，持续助力我国智能微系统领域实现更大的发展与突破！